扫描电子显微镜的发展简史

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种电子显微镜，它通过用聚焦电子束扫描表面来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用，产生包含样品表面形貌和成分信息的各种信号。电子束的扫描路径形如光栅，将电子束的位置与检测信号的强度相结合即可输出图像。在最常见的SEM模式下，用艾弗哈特-索恩利（Everhart-Thornley）探测器可以检测到由电子束轰击原子所激发的二次电子。不考虑其它因素，可以检测到的二次电子数以及信号强度取决于样品形貌。扫描电镜的分辨率可达1 nm。

下面给大家讲讲扫描电子显微镜的发展简史，希望能帮助大家更多的了解扫描电子显微镜，我们一起看一下吧。

1、1965 年，中国科学院科学仪器厂设计研制我国第 一台DX-2型透射式电子显镜。

2、1975 年，中国科学院科学仪器厂自行研制成功电子显微镜DX-3 型，主要指标达当时国际先进水平。1978 年获全国科学大会一等奖。

3、1977年7月，上海新跃仪表厂 完成SMDX-1P型微区分析扫描电镜。

4、1977 年，中国科学院科学仪器厂研制成功X-3F双道X射线光谱仪。与DX-3扫描电镜匹配，发展为DX-3A分析扫描电镜。获1978~ 1979年中国科学院重大科技成果一等奖。

5、1978年，上海新跃仪表厂 鉴定台式TSM-1型扫描电镜(30nm， 17kV)， 获上海市重大科技成果奖及1983年国家经济委员会颁发的优秀新产品证书。

6、1979 年，云南大学物理系自行设计研制的YWD-1A型扫描电镜。

7、1979 年，江南光学仪器厂于完成DXS-1小型扫描电镜。

8、1980年，中国科学院科学仪器厂研制成功DX-5型扫描电镜，获中国科学院1986年科技进步奖。

9、1982年，上海第三分析仪器厂生产400型台式扫描电镜。

10、1983年,江南光学仪器厂完成DXS-X2普及型分析扫描电镜。获南京市科技进步二等奖。

11、1983 年，中国科学院科学仪器厂从美国Amray公司引进微机控制、分辨本领6nm，功能齐全的Amray-1000B扫描电镜生产技术。

12、1985 年，中国科学院科学仪器厂生产了KYKY-1000B扫描电镜，共生产100台。获1988年国家科技进步奖二等奖，并列为我国1979~1988年重大科技成果。

13、1985 年，上海新跃厂 完成DXS-10普及型扫描电镜，获1985年上海市优秀新产品奖二等奖。

14、1987年，中国科学院科学仪器厂实现了Amray-1000B扫描电镜国产化。制成了大试样室，及背反射电子探测器，可获得元素成分分布图像。配备了低温试样台(-170°C~+18C连续可调，冷刀可断裂试样，适于观察生物及含水试样)和试样拉伸台。

15、1987年，上海电子光学技术研究所与上海硅酸盐研究所将DXS-10型台式扫描电镜改装成国内第 一一台SR-1型热波电子显微镜，1989 年获上海市优秀产品三等奖。.

16、1988 年，中科院北京科学仪器厂研制成功LaB6阴极电子枪，使KYKY-1000B扫描电镜的分辨本领由6nm提高到4nm。

17、1989年11月,江南光学仪器厂自行设计研制成功计算机控制DXS-3型高性能扫描电镜，其基本性能、自动化程度达到了80年代初国际水平。获1991年机电部科技进步一等奖。

18、1989年,中科院北京科学仪器厂研制完成KYKY-2000型数字化扫描电镜,分辨本领5nm,采用了数字图像处理功能。在第三届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA)上获新设立的BCEIA金奖，并获1994年中国科学院科技进步奖二等奖。

19、1992年，上海电子光学技术研究所完成DXS-10A智能化普及型扫描电镜,分辨本领10nm,加速电压30kV。获1994年机械电子工业部科技进步奖三等奖。

20、1993 年，根据中国科学院化学冶金所的要求，中科院科仪中心研制成KKY-1500型高温环境扫描电镜。在1000B基础上增加了高温试样台及低真空试样室，改进了真空系统及信号电子接收器等。试样温度最 高达1200°C,最 高环境气压为2600Pa。在800°C,1300Pa时分辨本领优于60nm。获1995年中国科学院科技进步三等奖。

21、1993 年，上海电子光学技 术研究所完成DXS-4智能化高性能扫描电镜。

22、1995年，中国科学院上海原子核研究所制成电镜用硅锂X射线能谱仪。

23、1995年，中国科学院北京科学仪器研制中心研制成功扫描电镜和电子探针波谱仪自动化系统。应用计算机技术对早期的波谱仪进行了技术改造，省去了原谱仪手动操作和数据采集、处理方面的大量烦琐、重复工作。

24、1995 年，中国科学院北京科仪中心于研制成功KYKY -2800型扫描电镜，分辨本领4.0~4.5nm。

25、1996 年，中科院科仪中心研制成功首台国产化X射线能谱仪Finder-1000 型。

1997年:承担“九五” 国家科技攻关项目一“扫描电子显微镜的及电子探针升级改造技术研究”课题。

26、1998 年，中国科学院北京科学仪器研制中心研制成功样品台自动调节控制系统。具有全面的五轴运动控制功能，采用Windows等技术可对样品台进行远程控制，实现了电镜操作的计算机屏幕化管理。

27、1999年10月，中国科学院北京科学仪器研制中心研制生产的全计算机控制扫描电镜KYKY-3800型扫描电子显微镜，在第八届北京国际分析测试学术报告会及展览会(BCEIA ‘99).上，获“优秀国产分析测试仪器金奖”。

28、1999年12月，中国科学院上海冶金研究所研制成功扫描电子显微镜用新型背散射电子探测器一一鲁宾逊探测器。

29、2000年3月，扫描电镜电子背散射衍射接收系统在北京有色金属研究总院研制成功，通过国家科技部组织的验收组验收。

30、2004年，北京中科科仪股份有限公司成功研制EM-3200型数字化扫描电镜

31、2006 年，北京中科科仪股份有限公司在“十一五”国家科技支撑重大计划课题一《场发射枪透射电子显微镜的研制》中承担“场发射电子源、场发射电子枪和超高真空系统”三项子课题。

32、2007年，北京中科科仪股份有限公司成功研制EM-3900系列扫描电子显微镜。

33、2012年，在国家重大科学仪器设备开发专项的项目中承担“深紫外激光光发射电子显微镜(PEEM) 工程化”任务。

34、2013 年，北京中科科仪股份有限公司承担国家重大科学仪器设备开发专项一“场发射枪扫描电子显微镜开发与应用”项目。

35、2014 年，北京中科科仪股份有限公司成功研制KYKY-6000系列扫描电子显微镜。

36、2014年，北京中科科仪股份有限公司成功研制KYKY.8000F场发射扫描电子显微镜。