扫描电子显微镜的原理

扫描电子显微镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5 ~ 35keV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束。

扫描电子显微镜在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、 空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射(以及其它物理信号)， 二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。

扫描电子显微镜基本结构组成:

1.电子光学系统:电子枪;聚光镜(第 一、第二聚光镜和物镜) ;物镜光阑。

2.扫描系统:扫描信号发生器;扫描放大控制器;扫描偏转线圈。

3.信号探测放大系统:探测二次电子、背散射电子等电子信号。

4.图象显示和记录系统:SEM采用电脑系统进行图象显示和记录。

5..真空系统:常用机械真空泵、扩散泵、涡轮分子泵等使真空度高于10 + Torr

6.电源系统:高压发生装置、高压油箱。