扫描电子显微镜操作步骤

扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大, 视野大, 成像立体效果好。此外, 扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合, 可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。

下面小编给大家分享扫描电子显微镜的操作步骤，大家一起看看吧。

扫描电子显微镜的操作：

1.安装样品

1)按“Vent"直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮;

2)松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定.好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平而);

3)关闭样品交换室门，扣好锁扣;

4)按“EVAC"按钮,开始抽真空,“EVAC"闪烁，待真空达到一.定程度,“EVAC”点亮;

5)将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold"灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。(注意:推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆)

2.试样的观察(注意:软件控制面板.上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器)

1)观察样品室的真空“PVG” 值，当真空达到9.0X10°Pa时，打开“Maintenance”,加高压5kv,软件上扫描的发射电流为10μ A,工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”(注意:为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般15mm左右);

2)操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最 低，点击“Stage Map"，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察;

3)取消“LowMag"， 看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放....直到放大到所需要的图;

4)聚焦到图像的边界- -致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”,也可以按“ACB"按钮，自动调整图像的亮度和对比度;

5)按“Fine View"键，进行慢扫描，同时按“Freeze” 键，锁定扫描图像: 

6)扫描完图像后，打开软件.上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像;

7)按“Freeze"解除锁定后，继续进行样品下一一个部位或若下一一个样品的观察。

3.取出样品

1)检查高压是否处于关闭状态(如HT键为绿色，点击HT键，关闭高压，HT键为蓝色或灰色);

(2)检查样品台是否归位，工作距离为8mm，点击样品台按钮，按Exchang键，Exchang 灯亮;

(3)将送样杆放至水平，轻推送样杆到样品室，停顿1秒后，抽出送样杆并将送样杆竖起卡好，注意观察Hold关闭，为样品台离开样品室。